简介

MEMS 电容式技术

电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)， 具有良好的长期稳定性和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量 静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。基于电容工作原理的加速 度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和可 实现的分辨率。

描述

低噪(LN)加速度传感器具有优异的噪声性能，范围为 7-400 μg/√Hz， 这是最基本的最小频率和振幅测量要求。集成电子电路有助于确保差 分模拟电压输出(±4 V FSO)和灵活的电源电压(6-40 VDC)。

中频(MF)加速度传感器提供了宽频响应，范围为 0-7 kHz(±3 dB)， 以及一个非常稳健的设计，耐冲击高达 6,000 g。集成电子电路有助于 确保差分模拟电压输出(±2.7 V FSO)和灵活的电源电压(5-40 VDC)。

该系列传感器具有轻量级铝制外壳或稳健不锈钢外壳，保护等级为 IP67，以及带可配置长度和接头的集成电缆。

特点

应用

三轴加速度传感器可在三个自由度的宽频响应范围内检测最小加速 度，如用于试验台应用、车辆和道路监测以及航空中的共振和颤振试验。