三相点温度传感器允许使用一个探针监测容器内三个独立的温度点。这项技术最初是由Conax公司设计用于外延反应器的校准，现在已应用于一系列工业过程控制应用中。锥形护套确保测量接头的正确位置。，最初的应用使用钨/铼热电偶丝在1200°C环境中提供精确操作。惰性气体回填保护热电偶导线免受高温氧化。