​知芯S28微振镜是一款静电式单轴MEMS微镜。芯片工作在谐振状态，具有高可靠性、角度反馈精准、体积小的特点。有效镜面尺寸为2.8x3.8mm，表面镀金或铝，对可见光与红外光有较高的反射率。

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• 静电驱动
• 一维扭转
• 镜面镀金属
• 低功耗
• 小体积

性能参数	数值	备注
镜面尺寸	2.8x3.8 mm	可咨询其他尺寸
微镜谐振频率	f≈1300 Hz	部分规格会不同
驱动频率	2f
微镜驱动电压	0~120V、方波
光学扫描角度	±23°
存储温度	-40~85 ℃
工作温度	0~60 ℃
工作环境	无尘、防静电
封装方式	裸片、简易封装	可定制

• 显示投影
• AR/VR
• 3D测量
• 自动驾驶