FS4000系列质量流量传感器是专为通用流量监测和控制应用而设计的，采用Siargo全球领先的专有MEMS质量流量传感器和智能电子控制系统。该传感器直接测量设计通道内的质量流量，具有较低的压力损失。该传感器可广泛应用于麻醉设备的电子流量计、洁净室空气流量或氮气冲洗监测和控制、环境设备如空气采样器、分析仪器如GC光谱仪等。FS4003流道直径为3毫米。这个传感器有一个低成本的包，有一个非常低的压力损失，而它可以测量空气流量高达5 SLPM。应用包括泄漏检测、粒子计数器和分析仪器。FS4008可配置测量流量高达50 SLPM。适用于气体流量测量及控制设备。应用范围包括用于麻醉设备的电子流量计、洁净室气体流量监视器、空气采样器和气体分析仪。