我们的激光干涉式测振仪是精确、非接触式测定物体或表面位置的时间变化和探测频率从0到500 kHz的机械振动的理想仪器。这些仪器是基于我们的sp系列微型平面镜干涉仪的概念设计的。sp系列干涉仪的传感器头配备了额外的光学设备，能够对具有任意粗糙度的表面进行测量。整个系统由一个模块化设计的电子单元组成，该电子单元包含一个激光器、一个紧凑设计的传感器头和各种接口。他们的光纤光耦合干涉仪将沿其光轴的运动转换为干涉条纹，并传输到他们的快速、高分辨率解调电子设备进行处理。操作和结果显示使用PC运行专门的数据分析软件。