英国真尚有-电容位移传感器|电容传感器|皮米电容传感器|ZNX系列

ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。

ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。

主要特点：

(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；线性最高0.02%；

(2)、对位置的尺度变化非常敏感，精确测量到皮米级位移变化；

(3)、可调谐以满足应用要求；

(4)、高精度，线性度最高可至0.02%FS；

(5)、高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移；

(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，极端低温，强辐射。

应用领域：

     可用于对精确定位：平台控制； 显微镜； 结构变形； 振动控制； 材料测试； 精密工程； 有源光学； 精密光束转向； 空间站机械臂。

     如压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

技术规格：

传感器型号	ZNXB	ZNXC	ZNXD
小量程μm	20	100	250
灵敏度μm/V	2	10	25
噪音nm rms Hz-1/2	<0.001	<0.005	<0.013
温漂nm/K	1	4.4	11
线性度%	<0.08	<0.05	<0.06
大量程μm	100	500	1250
灵敏度μm/V	10	50	125
噪音nm rms Hz-1/2	<0.015	<0.075	<0.188
温漂nm/K	3 或 230	3 或 230	3 或 230
线性度%	<0.08	<0.05	<0.06
工作温度	+10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头）
存储温度	0～+70℃
相对湿度	5～95%（无冷凝）
频响Hz	50/500/5000

控制器型号	CC-A-4101
传感器通道最大个数	1
供电	±15V，75mA
模拟输出V	±10
数字输出
尺寸mm	218 x 77 x 34
频响Hz	100 or 1k or 10k

◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。