产品介绍
描述
CAFS6000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制,独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量,确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。
CAFS6000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路(MCU)组成.集成的∆-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集,获得精确的流量信号,并在内部进行相应的补偿算法处理,因此无需再做任何外部校准补偿,就能确保高精度的流量输出;友好的数字化输出通讯方式,用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息;产品应用范围十分广阔。
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