外部压电阀的精确控制，满量程（TEOS等效值）为580 mg\/min，此热液流量控制器（LFC）设计用于MSP‘PE’系列涡轮汽化器。2940 LFC由一个热传感器组成，用于感测液体的质量流量，并产生电压来操作‘PE’系列涡轮汽化器中的压电控制阀。 2940的特点是响应时间快，是经常用于ALD或短脉冲的短时间蒸汽脉冲的好选择CVD. 2940具有分区‘PID’设置和改进控制的自学习功能。，2940型液体流量控制器FC1全标度TEOS Equiv（g\/min）0.58全标度去离子水（g\/min）0.08耐压（bar）5最大压降（mbar）5柱内径（mm）0.48功率@24V（W）48端口连接器1\/8英寸外螺纹CVR配件工作温度（ºC）0–50工作湿度（%）20–80非冷凝密封材料石英玻璃\/PEEK\/SS316\/Viton\/Silicon RTV尺寸（mm\/incjes）127 x 152 x 25\/5 x 6 x 1重量（kg\/lb）0.45\/1.0存储温度（ºC）-10–60安装插槽四4.75英寸x 0.75英寸图案上0.15英寸宽的插槽通信PinoutPin功能1+24V2设定点（0–5V）3监视器（0–5V）4 RXD5 TXD6,7,8,9地线
外部压电阀的精确控制，满量程（TEOS等效值）为6.4 g\/min，此热液流量控制器（LFC）设计用于MSP‘PE’系列涡轮汽化器。U201A系列压电式液体流量控制阀由U201A系列的液体流量传感器和温度传感器组成。2940的特点是响应时间快，这使得它是在ALD或短脉冲CVD中经常使用的短时间蒸汽脉冲的好选择。2940具有分区‘PID’设置和改进控制的自学习功能。，型号2940液体流量控制器FC2全刻度TEOS Equiv（g\/min）32全刻度去离子水（g\/min）5.0耐压（bar）1最大压降（mbar）1柱内径（mm）1.8电源@24V（W）48端口连接器1\/8英寸外螺纹VCR配件工作温度（ºC）0–50工作湿度（%）20–80非冷凝材料石英玻璃\/PEEK\/SS316\/Viton\/Silicon RTV尺寸（mm\/inches）127 x 152 x 25\/5 x 6 x 1重量（kg\/lb）0.45\/1.0最佳存储温度（ºC）-10–60安装槽四个0.15英寸宽的插槽在4.75英寸x 0.75英寸模式上通信引脚输入功能1+24V2设定点（0–5V）3监视器（0–5V）4 RXD5 TXD6,7,8,9接地
外部压电阀的精确控制，满量程（TEOS等效值）为6.4 g\/min，此热液流量控制器（LFC）设计用于MSP‘PE’系列涡轮汽化器。2940 LFC由一个热传感器组成，用于感测液体的质量流量并产生电压来操作‘PE’系列涡轮汽化器中的压电控制阀。2940的特点是响应时间快，这使得它是在ALD或短脉冲CVD中经常使用的短时间蒸汽脉冲的好选择。2940具有分区‘PID’设置和改进控制的自学习功能。，型号2940液体流量控制器FC3全刻度TEOS Equiv（g\/min）32全刻度去离子水（g\/min）5.0耐压（bar）1最大压降（mbar）1柱内径（mm）1.8电源@24V（W）48端口连接器1\/8英寸外螺纹VCR配件工作温度（ºC）0–50工作湿度（%）20–80非冷凝材料石英玻璃\/PEEK\/SS316\/Viton\/Silicon RTV尺寸（mm\/inches）127 x 152 x 25\/5 x 6 x 1重量（kg\/lb）0.45\/1.0最佳存储温度（ºC）-10–60安装槽四个0.15英寸宽的插槽在4.75英寸x 0.75英寸模式上通信引脚输入功能1+24V2设定点（0–5V）3监视器（0–5V）4 RXD5 TXD6,7,8,9接地
