据台媒DigiTimes报道，台积电5nm使用了先进的技术与特殊处理，预计晶圆成本将相当昂贵。根据美国CSET计算，以5nm计数器制造的12吋晶圆成本约1.6988万美元，远高于7nm成本9346美元。
根据此前信息，台积电5nm工艺在今年一季度已大规模投产，为苹果、华为等厂商代工最新处理器，预计会贡献今年近一成的营收。
台积电总裁魏哲家此前在技术论坛上表示，相较7nm，5nm速度提升15%，功耗降低30%，电晶体密度提升80%，加强版5nm预计2021年量产，以5nm为基础发展的4nm将于2021年第4季试产。