本资料来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,是一份硬核技术资料。主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题,包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容,推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。《MEMS若干动力学问题研究》(104P无删减,PPT)资料全文可在新利18国际娱乐公众号后台回复关键词【MEMS动力学问题】获取保存、下载链接。避免错过传感器行业深度资讯、报告,以及传感器技术、传感器与测试技术、物联网传感器技术……等传感器知识,请关注新利18国际娱乐公众号,设为星标,查看往期内容。因网页篇幅有限,文档阅读体验不佳,本文放置PPT部分内容,剩余内容可在新利18国际娱乐公众号主页对话框回复关键词【MEMS动力学问题】获取保存、下载链接。