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项目名称：北京怀柔实验室2023年第二批碳化硅外延科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab07/02
招标范围：产品名称：外延厚度表征仪 数量：1台 简要技术规格:外延厚度表征仪是一种半导体材料检测设备，通过傅里叶变换红外(FTIR)干涉测厚方法实现对1-150μm 6-8英寸碳化硅外延层的厚度测量，具有0.1μm以下的测量重复性。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-09-12 09:30
公示时间：2023-09-15 11:05 - 2023-09-20 23:59
中标结果公告时间：2023-09-21 14:16
中标人：德仪先进有限公司
制造商：Onto INnovation
制造商国家或地区：美国