MEMS薄膜电感测试要求测试一：低频电磁参数 测试设备：阻抗分析仪或其他（满足输出要求即可） 测试方法（仅供参考）：根据阻抗分析仪输入端口类型，分为以下两种情况：1. 样品两端焊接引线的，需要额外测量焊点与引线的R, X, L, Q，输出要求同左。2. 样品两端直接测量的，需消除线缆的误差。 输出要求：1. 频率范围：0-40MHz2. 扫描步长：0.01MHz3. 参数：R, X, L, Q4. 以上四个参数为1组，共4组（Excel文件） 详细见图 有效期限：长期有效

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