产品介绍
概述
主要用于将设备站号信息、MAG信息、Tray盘信息及探测器信息等绑定后形成Log文件并上报客户指定数据库。
特点
· 设备动作节拍:10min/Mag
· 设备洁净度:百级
· 设备自动将站号信息、MAG信息、Tray盘信息及产品信息等绑定,形成Log文件
· 预留接口,可将数据及文件上报客户指定数据库,供用户检索与处理产品生产信息息
应用领域
此产品及技术的可移植性高,应用领域广泛,可根据客户生产工艺定制开发。
产品替代
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