MEMS质量流量传感器的歧管配置类似于MFM / MFC 2000系列： MFM2000，MFC2000， MFM 2020，MFM 2021，MFM 2100，MFC 2022，MFC 2100
此外，它还与 Axetris 公司的流量传感器兼容。
测量范围 [SCCM]：0 to 0.1...20 SLPM or 0 to ±0.1...±20 SLPM
输出信号：线性, 0.5...4.5 VDC, RS485 Modbus, I2C
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