PFLOW3000系列质量流量传感器是由微机械（MEMS）传感元件制成的，这些传感元件具有创新的热传感原理，具有出色的线性并去除某些常见气体的气体敏感性。
测量范围 [SCCM]：0 to 2...50 SLPM
输出信号：Linear, 0.5...4.5 VDC, RSs485 Modbus, I2C
精度 [± % FS] max.：±(1.5+0.2FS)
供电电压 [VDC]：8...24
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