产品介绍
深国安SGA-500系列固定式特殊气体浓度检测仪(带延长线)是专为半导体、光伏等高科技产业设计的专业监测设备,通过国家防爆认证及欧盟CE/ROHS双认证,可满足特殊工艺环境的安全监测需求,该设备采用进口高精度传感器,能够精准识别NF3、SiH4、PH3等特殊气体的微量泄漏;在芯片制造、太阳能电池生产等洁净车间,这些特殊气体虽然用量小但毒性极强,深国安固定式特殊气体浓度检测仪可定制延长线设计,可将传感器探头灵活布置在设备、气体管路等关键泄漏点,实现针对性监测。
深国安固定式特殊气体浓度检测仪采用工业级防爆设计,铝合金外壳防护等级IP66,可耐受洁净车间的定期消毒处理,32位纳米级处理器和24位高精度ADC采集芯片保证响应时间≤3-20秒,实时监测数据通过4-20mA和RS485双信号输出,可接入工厂监控系统;当特殊气体浓度超过预设阈值时,立即触发85dB声光报警,并通过继电器联动应急处理系统;三防设计(防过载、防误操作、防雷击)确保设备长期稳定运行,红外遥控功能支持不开盖校准,避免人员进入洁净区干扰生产。
在半导体刻蚀、CVD沉积、离子注入等工艺区域,特殊气体泄漏风险时刻存在,深国安气体检测仪凭借其高灵敏度、快速响应和延长线设计,为这些高风险工序提供了精准的安全保障,通过实时监测和及时预警,既防范了职业中毒风险,又保障了精密制造工艺的稳定性,显著提升了高科技工厂的安全管理水平。
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