浅谈微型压力传感器在工业和医疗领域的应用
用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型压力传感器,对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型压力传感器近几年来发展很快,这类压力传感器主要应用于汽车工业和医疗保健领域。 霍尼韦
华翰科技@罕志贤
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MEMS其实就是一种工艺技术,并不神秘,本质上就象是泥瓦匠砌砖墙,只不过把尺寸缩小到微纳米级别,泥瓦匠变成了各种半导体设备。关键在于砌砖墙的加工过程,需要对各种过程参数进行精确控制,而这就难倒不少人了。
2022-07-06回复