据佳能中国官微消息，佳能将于2023年2月21日推出半导体制造用晶圆测量机“MS-001”，该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。
（图源：佳能中国）
据悉，新产品“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器，可以进行多像素测量，降低测量时的噪音。另外，“MS-001”还可以对多个种类的对准标记进行测量。通过采用新开发的调准用示波器光源，新产品可提供的波长范围比在半导体光刻设备中测量时大1.5倍。
通过引进解决方案平台“Lithography Plus”，可以将有关半导体光刻机和“MS-001”的运转情况的相关信息集中到“Lithography Plus”中。通过数据对照监测，可以检测出晶圆表面对准信息的变化，并在半导体光刻机上进行自动校正。