集微网消息，近日，三河建华高科有限责任公司（以下简称“建华高科”）宣布，自主研发的TZ-606S全自动探针测试系统再度获得射频滤波器代表性企业近800万元复购订单，标志着其自主研发的射频滤波器探针测试系统批量进入大生产线，实现了射频滤波器行业在CP测试环节的产业化。
据悉，TZ-606系列全自动探针测试系统是一款多功能测试设备，根据不同配置需求，可在I-V、C-V、光信号、高功率、射频滤波器、MEMS等领域提供晶圆级测试解决方案，并可加载温控系统，满足客户在高低温环境下各种晶圆器件性能测试需求。
建华高科消息显示，其隶属中国电子科技集团公司第四十五研究所，是一家拥有核心自主知识产权的先进半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备研发、生产、销售及技术服务，主要产品为接触接近式光刻机、匀胶显影机、探针测试系统、内圆切片机等，主要应用于MEMS、功率器件、光通信、射频滤波器、陶瓷器件及基板等领域。目前已具有20GHz以下由探针测试台、矢量网络分析仪、测试软件构成的探针测试集成系统，并具备更高频率器件晶圆级测试能力。（校对/冯一文）