内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。
* <1fA 噪声
* 电压测量时，输入阻抗>200TΩ
* 电荷测量范围 10fC-20μC
* 速度可达1200个读数/秒
* 简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器
* 主动消除电压与电流的偏移
应用：
高电阻率测量
漏电流
离子选择性电极测量
pH 测量
电导池
电位计
提供的配件：
237-AL G-2 低噪声三同轴电缆，3 槽三同轴转鳄鱼夹，2m（6.6 英尺）
吉时利 6514 静电计将灵活的接口功能与电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度相结合，与我们早期的静电计相同或更高。6514 型的内置 IEEE-488、RS-232 和数字 I/O 接口使得配置全自动高速系统进行低级测试变得简单。
5? 位 Keithley 6514 专为需要对低电流、来自高电阻源的电压、电荷或高电阻进行快速而精确测量的应用而设计。