美国sensaras晟尔斯PLS960多点超声波液位开关PLS960
多点超声波液位开关PLS960简介
美国sensaras晟尔斯多点超声波开关PLS960介绍
超声波侵入式多点液位系统主要用于半导体工业中PVD、 CVD、ALD等工艺所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐内高纯度化 学品液位的高精度和高可靠性的测量。 液位系统在化学气相沉积过程中至关重要，如ALD，CVD， PVD等半导体晶圆制造过程。 PLS960系列多点液位系统用于检测非常昂贵的超高纯度化 学品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、 DECT、TCA和金属化初级粒子等）的准确数量，减少化学废 物，增加产量和利润。
通过超声波回波处理技术检测液体在容器中的存在状态 不受被测物的介电常数、颜色、密度和粘度等参数影响 探头采用316L 不绣钢材质，通过½”或¾” VCR与容器连接 探头采用套筒式或叉式结构一体式设计，无可动部件 模块与探头分离，无需校准，易安装
多点液位测量 高位/溢出报警 低位/停止、再进料 半导体行业和医药制药行业
输入： 24VDC 输出: 每点1A SPDT 1A SPDT 报错点、自动进料显示 本地温度显示可选 可高达7点液位显示和报错显示 对不同液体也无需校准
重复性: +/- 0.04”(1mm)（典型） 精度: +/- 0.06 (1.5mm) 电流消耗：250mA（典型）
材质： 316LS不锈钢
3/4"
VCR连接结构可达到7个液位检测点
1/2"
VCR连接结构可达到4个液位检测点
多于7个点的检测请与我们沟通，可定制达16个点。
K-type SLE 温度传感器（可选） 低液位检测点可置于探头末端向上5毫米 两个液位检测点小距离可为2.5毫米 长度 : 600毫米，若需更长与我们沟通 温度: 0° to 125°C (标准)，达 160°C的定制请与我们沟通
如按安装指南正确安装不能达到我们所达成的规格，在 发货日起45自然日内，Sensaras接受免费退换货。 产品保修期：自发货之日起18个月。