近日，有媒体报道称，台积电美国亚利桑那州厂导入了首台极紫外光（EUV）光刻机。
据了解，2020年5月，台积电宣布在美国亚利桑那州建厂，最初承诺投入120亿美元。去年12月，台积电将投资额增加到400亿美元，并将所建工厂分为两座，分别为5nm及3nm芯片代工厂。此前，台积电曾宣布5nm工厂预计将在2024年全面投入运行，每月生产2万片芯片，该工厂也被媒体喻为“美国第一家先进制程晶片厂”。
然而，由于台积电5nm量产时间一拖再拖，在2024年量产之时，恐难以满足当下市场对于先进制程的需求。因此，业内专家预测，此次台积电美国亚利桑那州厂导入的首台EUV光刻机，是为3nm量产做准备，3nm量产或将提前。
（来源：中国电子报、电子信息产业网/JSSIA整理）