飞机空速、风机吹风、管道流动等测量中，传统方式经常采用皮托管引压至差压传感器，测量流动总压与静压之差，从而换算出流速；MEMS流速传感器则直接将压力敏感芯片内置于皮托管结构，实现无管腔（无引压管腔）测压，响应无延迟、无衰减，以更好地保留试验的动态性能数据！

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MEMS流速传感器简介

基于MEMS技术的压阻式压力传感器芯片，尺寸小（＜2mm）、固有频率高（＞100kHz）;

采用芯片背面承压的工艺，介质无需接触敏感电路，具备更好的介质兼容性，气体、液体均可测量；

在封装外壳的轴向端面、径向圆周面分别内置MEMS芯片，测量时，轴向端面正对来流；

探头直径较小，且尾端采用流线型设计，最大限度减小扰流。

探头实物及尺寸图如下：

电气线缆由垂直方向引出，可用于延长支撑立杆（方便固定）及增加信号调理放大（增强信号抗干扰、方便采集），如下图：

若用于管道流速测量，可设计为法兰连接，方便直接与被测流道合为一体。如下图：

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技术参数选型

实验选型时需要明确被测总压及静压的峰值，选取被测压力的1.5倍量程即可（需考虑瞬态压力峰值，以免瞬间过载导致芯片破裂）。关键参数如下：

总压量程：2kPa～3000kPa(按需定制）；

静压量程：2kPa～3000kPa(按需定制）；

测量精度：0.5%FS；

激励电压：24VDC；

输出信号：0.1～5V；

放大器带宽：20kHz；

探头外径尺寸：8mm或10mm(与量程相关）。

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应用局限

皮托管测量流速的理论基础为伯努利方程：P+1/2ρv2+ρgh=C；即在水平流动不考虑高度变化情况下，静压与动压之和为恒定值。当流速接近声速时，流体压缩效应会导致误差变大，因此常用于0.3马赫以下的流速测量，不适用于高速流动工况。

MEMS流速传感器设计最高流速为40m/s；

考虑微小压力芯片的稳定性问题，最小压力量程可选2kPa。

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