工业互联网、智能控制、AI算法三大技术浪潮正以前所未有的力量重塑半导体制造,推动其向“零缺陷”、高弹性、全链条协同的智慧生产模式加速跃迁。这场深刻转型的核心,在于让制造过程彻底告别“经验驱动”,全面拥抱“数据驱动”与“智能驱动”。传感器,正是这条智能化道路上不可或缺的“隐形纽带”。
作为底层数据的唯一源头,它们凭借超凡的精度、惊人的速度和无可比拟的可靠性,实时感知工艺链上每一个关键节点的细微状态,成为驱动制程良率持续提升与微缩极限不断突破的核心赋能者。
接下来让我们深入半导体制造的精密腹地,剖析核心痛点,看博亿精科如何以专业传感器阵列精准破局
行业案例
0.1 光刻对准与晶圆平整度控制
行业痛点
光刻是芯片制造的“命门”,纳米级的对准误差或晶圆翘曲/不平整,直接导致图形错位、线宽不均,造成灾难性废片,影响先进制程良率。热膨胀、机械振动是主要干扰源。
博亿精科产品推荐:
高精度激光位移传感器
实时、非接触测量光刻机工作台位置、晶圆表面高度及微小形变,为精密伺服控制和调平系统提供即时反馈,确保光刻图形精准转印。
光纤放大器
在空间受限或存在强电磁干扰的复杂光刻机内部环境中,提供稳定可靠的位置或微小位移检测
2.沉积腔体工艺门阀密封
行业痛点
腔体内部工艺参数的微小波动或腔体门阀密封不严,导致薄膜厚度不均,严重影响器件性能和批次一致性。
博亿精科产品推荐:
接触式位移传感器
精确检测腔体门阀的闭合到位状态,确保严丝合缝,防止工艺气体泄漏和真空度下降,保障工艺稳定性。
3.引线键合与芯片贴装精度
行业痛点
键合焊点位置偏移、金线弧高、弧度不一致、芯片贴装偏移或倾斜等问题,直接影响封装电气连接可靠性和产品良率。高速运动下的微米级精度是挑战
博亿精科产品推荐:
智能相机
集成高分辨率成像与强大视觉算法,实时进行芯片、基板的位置、角度识别,焊点质量检测,引线弧线形态分析,确保键合和贴装精度达到微米级要求。
04.物料追踪与防错
行业痛点
圆料盘在自动化搬运中发生身份混淆、 或放置错误,将导致严重的混批甚至设备损坏。
博亿精科产品推荐:
识别不同颜色标识的料盘、载具或标签,实现快速、准确的物料分类和防错校验。
光电传感器
检测晶圆有无、数量或用于小型物料、载具的存在检测。
05.精密设备安全防护
行业痛点
高速运动的机械臂、旋转的机械手、自动化轨道系统等,对操作人员构成潜在碰撞风险。
博亿精科产品推荐:
安全光幕
在设备危险区域(如机械手工作区、设备出入口)形成无形的光栅保护屏障,一旦人员或异物侵入,立即输出安全信号停止设备,保障人员安全。
选择博亿精科传感器,不仅是选择精密的测量工具,更是选择为您的半导体智慧工厂构建坚实、可靠、智能的数据感知基石,助力您在通往“零缺陷”与微缩极限的巅峰之路上行稳致远。
让每一纳米的变化都被精准感知,让每一次工艺的跃升都拥有数据支撑——博亿精科,以传感之力,智赋芯未来。