《科创板日报》8日讯，默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。默克表示，经过一年的持续合作，美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体，以验证其制程性能，从而取代传统的高GWP材料，目标在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。
《科创板日报》8日讯，默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。默克表示，经过一年的持续合作，美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体，以验证其制程性能，从而取代传统的高GWP材料，目标在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。
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