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严选EUV技术厂家，提供从EUV技术设计、研发、生产制造深耕产品，打造值得信赖的传感器品牌，解决选品、技术支持问题，实现采购放心、售后无忧。

ISTEQ

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这些来源基于尖端技术，并受全球专利保护。 XWS-30紧凑型宽带等离子光源XWS-65 宽带等离子光源 XWS-X 高紫外宽带等离子光源极紫外产品（EUV）激光产生的等离子体自从行业选择走 EUV 道路以来，Isteq 集团就一直致力于这项技术的研究由于我们的团队在该领域获得的经验和专业知识，我们用于生产 EUV 的技术比其他竞争对手具有许多优势。这些来源基于尖端技术，并受全球专利保护。 13.5nm EUV光源产品-高亮度、低碎片的TEUS系列TEUS S-100 清洁光子 EUV 源 TEUS S-200 清洁光子 EUV 源 TEUS S-400 清洁光子 EUV 源
Energetiq / Hamamatsu

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(LDLS)，激光驱动的可调光源(顶级域名)，色度光谱引擎(CSE™)并且无电极z-Pinch EUV技术紧凑的外形提供无与伦比的可靠性和稳定性质量ISO9001:2015和 ISO14001 :2015认证在整个设计和生产过程中内置质量检查全面的技术驱动的业务管理系统通过持续改进实现卓越的文化突破极限的先进光子解决方案用于纳米级照明的宽带光源从R&D到批量生产Energetiq利用突破性的专利技术制造先进的下一代光源，包括我们的超亮激光驱动光源(LDLS®)和无电极Z-Pinch EUV光源。 Electrodeless Z-Pinch™ EUV光源紧凑、可调且可靠的光源，用于产生极远紫外线和软x射线光。产品优势高亮度激光驱动光源技术提供170纳米至2500纳米的高辐射高重复率紧凑型无电极Z-Pinch EUV光源超过10，000小时的运行时间广泛的波长范围/升级途径复杂系统的“即插即用”选项主要应用半导体制造晶片计量学
KMLabs

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美国 KMLabs 超快X射线光源KMLabs在将最先进的超快激光技术推向市场方面有着悠久的历史。到2009年，KMLabs率先推出了第一个商业高谐波源，通过强飞秒激光器的频率上变频产生相干的EUV光束。这演变成我们的 XUUS断续器产品线，在光谱学、成像和材料计量方面拥有大量已得到验证的应用。这项投资的动机是需要与下一代光刻相关的用于检测和计量的高平均功率EUV / SXR相干源，以及需要更好的纳米计量分析工具。
Difrotec

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我们在光学系统和光学图像处理的数学建模，开发用于DUV和EUV光刻的高精度光学系统的组装，调整和测试的计算机模型的开发方面拥有30多年的经验，在点衍射波阵面研究方面已有8年以上的经验测试各种参数的光学元件 D7作为通用仪器，具有多种计量工具的优点：绘制表面图形，揭示光学器件制造和组装技术的特征和缺陷以及测试光学系统的图像质量。所有这些功能均提供了世界上最高的绝对精度-埃。
Greateye

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公司致力于创新、尖端的技术，并致力于持续的产品改进。基于独特的技术平台，可提供丰富的X射线、EUV到VIS和NIR波段，高动态范围、卓越灵敏度的产品系列。依靠不断的技术创新和精益求精的精神，这家初创公司很快发展成为一家国际知名公司。如今，它在许多不同国家的研究和工业领域拥有广泛的客户群。
Samsung Semiconductor 三星半导体

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凭借先进的纳米技术，迈向可持续发展的未来作为全球半导体行业的知名企业，韩国 Samsung Semiconductor 三星半导体为移动通信、服务器、汽车及人工智能等诸多领域提供核心技术。这，就是三星半导体，我们的技术虽隐于无形，但与您时刻相伴。我们的存储事业部凭借全球领先的存储半导体技术，加速产业数字化转型；系统LSI事业部为运算处理、通信、电源管理及安全等多种应用设计优化核心芯片；晶圆代工事业部则通过尖端制程技术与深度合作，助力客户实现技术飞跃开始发布业界先进的 128Mb 闪存,美国奥斯汀工厂开始生产 (SAS),于1990-1999 占据世界舞台中心2009 开始大规模生产业界先进的 40 纳米级 2Gb DRAM2015 开始量产基于 EUV ISOCELL Auto2017 开始量产第 5 代 V-NAND 及开发行业第一款 8Gb LPDDR5；开发三星的第一款 5G 调制解调器（Exynos 调制解调器 5100）；2018 于韩国华城建立 EUV
Hamamatsu Phtonics 滨松光子

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滨松集团---全球光子技术、光产业的领导者日本滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics，简称滨松集团）是全球光子技术、光产业的领导者。北京滨松光子技术股份有限公司是一家中外合资经营的国家级高新技术企业。公司经营领域包括：光电器件、闪烁体、弱光探测器、核辐射探测器及光电子玻璃、医疗及检验检测仪器等光子技术领域高新技术产品。，高分辨率 X 射线成像系统，软件光源 LED，UV-LED 光源，光源，光源模块和单元，微焦点 X 射线源，软 X 射线源，极紫外 (EUV) 和软 X 射线源，可调谐激光驱动光源，激光驱动光源 (LDLS 北京滨松光子技术股份有限公司廊坊分公司北京滨松光子技术股份有限公司永清玻璃分公司滨松光子科技（廊坊）有限公司(子公司)

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国家知识产权局刚刚正式揭晓了上海微电子装备有限公司在7nm及以下芯片领域的重大突破，该公司成功获得了一系列关键专利，特别是极紫外辐射发生器，该核心技术的突破涵盖了腔体材料发生器、精密激光源、高效收集精密电极板、先进气控部件及其关键组件，我们离国产EUV极紫外光刻机全面突破的日子越来越近了。

国产化替代

2024-09-22

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