四方光电尘埃粒子计数器在半导体洁净生产中的应用
2024-05-22
本项目为电网科技项目，寻找承接单位，需要研发一款电力专用微纳声音、振动集成传感器，满足电力设备声音、状态监测需求，同步提交专利、论文、图纸等成果。（1）振动测量频段：20~10KHz；（2）振动传感器测量灵敏度：≥500mV/g；（3）声测量频段：20~20KHz；（4）声传感器测量灵敏度：优于100mV/Pa。针对振动敏感元件、声学敏感元件采用专用MEMS半导体生产线进行生产与封装，并对生产产品各元件进行选型及开发，开展振动、声学传感器测试技术研究，完成传感器整机的制造及测试。