国家知识产权局刚刚正式揭晓了上海微电子装备有限公司在7nm及以下芯片领域的重大突破，该公司成功获得了一系列关键专利，特别是极紫外辐射发生器，该核心技术的突破涵盖了腔体材料发生器、精密激光源、高效收集精密电极板 、先进气控部件及其关键组件，我们离国产EUV极紫外光刻机全面突破的日子越来越近了。
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