Setra西特227超高纯压力传感器 ▲
表压、复合压、绝压可选
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PSI或BAR量程可选
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11/8"下法兰安装
Setra 的227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block Setra 的整个超高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术，高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰（EMI/RFI）。 应用
●模块式1-1/8"气体棒和面板
●高纯气体传输系统
●半导体工艺工具
好处
■出色的稳定性，可避免停机
■抗EMI/RFI功能防止假停机
■符合CE标准
UltraHighPurity(超高纯应用压力传感器 、Out、Com）
激励10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
电流消耗<8mA
*校准精度为 *出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。
**零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
**范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。