【传感器技术需求】 机械手精确定位用三维角位移传感器研制: 1）三维角位移传感器总体结构方案设计。 3）应变测量原件的选择和应变片布置方案。弹性感知原件上需要嵌入应变片，用于测量应变。目前可选的有MEMS主动应变片、复合压电陶瓷主动应变片和被动式电阻薄膜片。 使用主动应变片可简化后续测量放大电路，但电阻薄膜应变片具有较大的线性范围和良好的温度特性，因此需要对这两种应变片进行综合试验；在选定应变片以后，确定并优化应变片布片位置，可以降低各向应力耦合，有利于提高传感器灵敏度和信噪比 弹性元件上的应变耦合了三维方向的角位移，影片片的位置布置，解决了最大信噪比的输出问题，但是三维方向的角位移，需要一套有效的解耦算法，该算法一方面可以最大限度提取三维角位移的信息，同时还要考虑计算工作量， 5）应变测量放大和信号调理电路。作为一款集成传感器，虽然可以通过数字标定方式对系统误差进行标定，但是应变测量放大和信号调理电路仍然是研究的关键，而且主要是工程技术的诀窍。
2023-11-10