【传感器配件（材料）需求】 一种超硬非晶碳薄膜的制备装置和工艺：项目介绍：项目为一种超硬的非晶四面体碳（ta-c）薄膜的制备装置和工艺，该薄膜具有极好的物理化学特性，在碳基薄膜中，是目前国际上公认的SP3 该成果获的陕西省重大科技专项资助，已经完成各种实验研究，进入产业化推广阶段。该项目中的离子源技术获高等学校科成果一等奖和陕西省科技成果二等奖。该项目的专有装置制造和工艺技术已获国家发明专利。
2023-11-10