本项目为电网科技项目,寻找承接单位,需要研发一款电力专用微纳声音、振动集成传感器,满足电力设备声音、状态监测需求,同步提交专利、论文、图纸等成果。 (1)振动测量频段:20~10KHz;(2)振动传感器测量灵敏度:≥500mV/g;(3)声测量频段:20~20KHz;(4)声传感器测量灵敏度:优于100mV/Pa。 针对振动敏感元件、声学敏感元件采用专用MEMS半导体生产线进行生产与封装,并对生产产品各元件进行选型及开发,开展振动、声学传感器测试技术研究,完成传感器整机的制造及测试。 有效期限:长期有效