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吉时利Keithley 4200-SCS参数分析仪

2023-09-20 14:05:18
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摘要 吉时利Keithley 4200-SCS参数分析仪


半导体材料和器件的研发—传统的半导体和微电子专业


器件和工艺的参数监控—半导体工艺线,生产


器件的建模(Modeling)—半导体器件的设计,集成电路的设计


可靠性和寿命测试—半导体器件可靠性研究


高功率MOSFET,BJT和III-V族器件(GaN,GaAs)的特性分析


纳米器件研究;


光电子器件的研究(LED,OLED等);

传感专家

非易挥发性存储器测试—Flash闪存,相变存储器(PRAM),铁电存储器(FeRAM),阻变存储器(RRAM)等;


有机半导体特性分析


太阳能电池及光伏电池特性分析确定样品的电阻率和Hall载流子浓度


氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电容、电压、开启电压、体掺杂、有效氧化层电荷密度、


可动电荷、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等。


标准C-V扫描:普通MOSFET,二极管和电容器;


MOScap:测量MOS电容器上的C-V,提取参数包括氧化层电容,氧化层厚度,掺杂浓度,耗尽深度,


德拜长度,平带电容,平带电压,体电势,阈值电压,金属半导体功函数,有效氧化层电荷;

传感专家

MOSFET:对一个MOSFET器件进行一个C-V扫描。提取参数包括:氧化层厚度,氧化层电容,平带电容,


平带电压,阈值电压,掺杂浓度与耗尽深度的函数关系;寿命:确定产生速度并进行寿命测试(Zerbst图);


可动离子:使用BTS方法确定并提取平带电压参数确定可动电荷。包括对Hot Chuck热吸盘的控制。


在室温下测试样品,然后加热后测试,然后再恢复至室温下以确定平带漂移电压,从而确定可动电荷;


电容:在金属-绝缘-金属(MIM)电容器上进行C-V扫描和C-f扫描,并计算出标准偏差;

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