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项目名称：北京怀柔实验室2023年第二批碳化硅外延科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab07/01
招标范围：产品名称：表面缺陷检测仪 数量：1台 简要技术规格:表面缺陷检测仪一种半导体材料检测设备，使用双激光光源，收集材料表面散射光、反射光和形貌信息，实现对碳化硅衬底及外延层材料表面的三角形缺陷、胡萝卜缺陷、掉落物及颗粒等缺陷的识别。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-09-12 09:30
公示时间：2023-09-15 11:05 - 2023-09-20 23:59
中标结果公告时间：2023-09-21 14:16
中标人：辛耘企业股份有限公司
制造商：KLA
制造商国家或地区：新加坡