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天恒科仪-产品样册 | 集成系统篇

2025-07-18 11:23:18
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天恒科仪(苏州)光电技术有限公司专注于高精度测试测量系统和设备的研发、设计、生产、销售。为科研到量产的测试测量提供一站式解决方案

01集成系统

自动测试集成方案:

  • 功能定位:用于高精度自动化测试(如半导体芯片、电子元器件电性能测试)。
  • 核心部件:
    • 探针台系统:通过显微探针接触待测物微观点位,实现信号输入/输出。
    • 三轴精密运动平台(X/Y/Z轴):控制探针或样品台的位移。
  • 典型应用:半导体晶圆测试、MEMS器件检测、光电材料特性分析。


激光镭射切割系统:

  • 功能定位:利用高能激光束实现微米级精密切割。
  • 核心特点:
    • 多波长可选:如IR(1064nm)、Green(532nm)、UV(355nm),适应不同材料。
    • 显微观测系统:实时监控切割位置,确保精度。
  • 典型应用:芯片切割、微电子线路修整、材料微结构加工

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半导体参数测量系统:

  • 典型应用:芯片设计验证、晶圆制造质控、功率半导体测试、存储芯片分析
  • 功能定位:用于晶圆/芯片的电性能精密测试,覆盖电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)、瞬态响应(C-t)等关键参数,支持极端温度环境模拟(-80℃至+800℃)与微米级定位测试。
  • 核心部件:精密探针台系统、宽域变温卡盘、I-V测试、C-V测试、智能控制软件

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功率器件测量系统:

  • 典型应用:气浮平移技术、微米级定位、动态特性实时捕获
  • 功能定位:针对大功率半导体器件(IGBT、SiC/GaN、功率MOSFET等)的电性能全参数自动化测试,支持晶圆级(6/8/12英寸)与芯片级测试。
  • 核心部件:高精密探针台系统、电性能测试模块、智能分析软件

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射频微波测试系统:

  • 典型应用:射频芯片测试、功率半导体、光电集成、晶圆制造
  • 功能定位:针对高频/大功率半导体器件的晶圆级全参数测试,满足射频芯片、功率器件研发与量产需求。
  • 核心部件:高精度气浮探针台、高温卡盘系统、电性能测试模块、智能分析软件

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光电耦合测量系统:

  • 典型应用:光伏器件、光电传感器、半导体照明、光通信芯片
  • 功能定位:集成宽谱光源激发(200-2500nm)+微区电学测量(0.1fA分辨率)的跨尺度测试平台,实现光电器件在光照-电信号协同作用下的全参数分析
  • 核心部件:高精度光电探针台、宽域可调光源系统、原子级电学测量模块、智能分析软件

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