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天恒科仪-产品样册 | 探针台配件篇

2025-07-22 11:24:15
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天恒科仪(苏州)光电技术有限公司专注于高精度测试测量系统和设备的研发、设计、生产、销售。为科研到量产的测试测量提供一站式解决方案

03探针台配件

微定位探针座:

  • 功能定位:
  • 移动范围:全系支持 12mm × 12mm × 12mm 三轴无回差精密位移
  • 吸附方式:均采用磁性可开关底座
  • 探针兼容性:支持四类夹具
  • 三同轴、同轴、高压、大电流

天恒科仪-微定位探针座

—————————————HORIZON TECHNOLOGY————————————

夹具电缆:

  • 功能定位:专业弱电流信号输出、全系列聚焦 100fA级超低漏电精度测试场景,专为半导体微电流/高阻抗器件设计。
  • 全线支持 50Ω特性阻抗,保障信号运输的完整性。

天恒科仪-夹具电缆

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测试夹具:

  • 功能定位:提供芯片引脚与测试机间的低阻抗、高稳定性信号传输路径。
  • 精准定位BGA/QFN/CSP等封装芯片,确保测试接触零位移。
  • 部分型号支持-55℃~150℃高低温测试。
  • 测试场景:芯片烧录专用、功能参数测试、老化寿命测试

直流探针:

  • 材质:高纯度固体钨针
  • 长度:标准1.26英寸
  • 包装:5根/盒装
  • 镀镍选项:可选表面镀镍,增强耐腐蚀性
  • 测试场景:晶圆级参数测试、FIB修复后电极接触、敏感芯片点测、高震动环境

天恒科仪-夹具探针

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开尔文探针:

  • 名称:同轴探针支架
  • 功能定位:实现 10fA级(0.01pA)超低电流测量,专为精密电性测试场景设计
  • 名称:同轴替换针尖
  • 功能定位:提供灵活定制与高兼容性 的探针尖端解决方案

天恒科仪-开尔文探针

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探针卡:

  • 垂直式探针卡:
  • APOLLO:支持40微米超细间距、64K+高密度探针及1.8A/针大电流,专攻服务器芯片/Al/AP铜柱/凸点量产测试;Kepler MEMS:适配-40℃~150℃严苛环境,2D垂直弹簧设计减少焊盘损伤,保障车规芯片接触电阻稳定性;垂直针式:行业顶级细间距,宽温多芯片并行测试,优化SoC/微控制器高频信号测量。


  • 悬臂式探针卡:
  • 标配款支持40μm间距与20/40μm交错设计,3GHz高频带宽满足DDR5等高速芯片测试;
  • 低温版适配薄膜/Low-k/CUP敏感材料,可定制针尖规格延长使用寿命,专注存储芯片(30μm起)量产。


  • MEMS垂直弹簧探针卡:
  • 光刻3D螺旋弹簧实现单针秒级更换,散射干扰最小化,针对先进SoC/微处理器倒装芯片测试提供精密高频直连方案。

天恒科仪-探针卡

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射频探针:

  • 高频探针系列:
  • 频段:40GHz(DC-40GHz)、67GHz(DC-67GHz)、110GHz(DC-110GHz)
  • 触点形式:GSG(标准单端)、GSSG(双信号差分)、SG(单地)等,支持非标定制
  • 间距:100~1250μm
  • 后缀:
  • LL(低频优化)、DF(刀锋针尖,<30μm触点)、SH(弹孔抗疲劳设计)
  • AJ(间距可调)、NS(非标定制)、MW/TU2(高频/无频探针)

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

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校准基板

  • 型号:THK-GSG/THK-GSSG校准基板
  • 功能定位:SOLT(短路-开路-负载-直通)校准
  • 精度:阻抗误差±0.3%,氧化铝材质,金焊盘防腐蚀

天恒科仪-校准基板

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手持探头:

  • 型号:THK-Single/Differential Handheld Probe-AJ
  • 特性:间距400~4000μm,温域-55℃~125℃,支持单端(GSG)或差分(SS)信号

天恒科仪-手持探头

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高温卡盘:

  • 控温方式:开放式液氮制冷
  • 温度范围:
  • 标准款:-60℃ ~ +300℃
  • 卡盘尺寸:8英寸/12英寸


高低温卡盘:

  • 控温方式:空气制冷
  • 温度范围:
  • 高温款:-50℃ ~ +300℃
  • 宽温款:-60℃ ~ +200℃

天恒科仪-高低温卡盘

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