在半导体材料与光电器件（如太阳能电池、LED、光电探测器）的研发与测试中，高效、精准且灵活的光电性能表征至关重要。
天恒科仪光电耦合测量系统，采用高度集成化设计，将精密电学测量与灵活光学激励能力完美融合于单一平台，提供高性价比的一站式解决方案。
光电耦合测试系统
核心优势与设计亮点
多源激励，全谱覆盖：
支持紫外 (200nm) 至红外 (2500nm) 宽光谱激励。
光源类型多样：氙灯复合光源、激光器、LED等可选。
采用三光栅单色仪结合消二次色散设计，确保输出单色光纯度高，满足严苛测试需求。
光路智能，尺寸可控：
提供聚焦照明（微区分析）与均匀照明（大面积扫描）两种模式。
光斑尺寸可在 1μm 至 5mm 范围内精确连续调节，适应多样化测试场景。
模块扩展，功能强大：
基础平台支持选配光致发光光谱 (PL)、电致发光光谱 (EL) 等高级测试模块，轻松应对前沿研究挑战。
详细参数
精密探针台：
配备 3.5 μm 分辨率 光学显微镜。
集成 2000万像素 工业相机，支持 1X-5X 数码变焦，实现精准观测与定位。
兼容性： 六英寸晶圆或独立芯片。
定位精度： 高精度四探针系统，定位底座分辨率达 0.7 μm。
电学接口： 双通道低噪声探测接口，支持旋转测量。
光学观测：
探针选择： 提供多种规格探针 (针尖: 10μm, 20μm, 50μm, 100μm)。
智能可调光源：
单色光输出范围：250nm - 1700nm。
输出带宽 (带宽)：连续可调 (典型值 30nm)。
集成六位自动滤光片轮，适用 200nm - 1800nm。
光源核心： 150W 氙灯光源，覆盖 200nm - 2500nm。
分光核心： 三光栅单色仪，焦距 300mm，采用非对称消像差光路设计，有效抑制杂散光。
输出特性：
智能控制： 软件全自动控制波长扫描、滤光片切换、步长、延迟时间等。
光路配置： 支持定制光纤输出，实现光路灵活配置。
高性能数字源表 (SMU)：
电流分辨率：0.1 fA (飞安培)。
电压分辨率：1 μV (微伏)。
电压：±200mV ~ ±200V。
电流：±1μA ~ ±1A。
功率：20W。
宽范围输出/测量：
超高精度：
工作模式： 四象限工作，可无缝切换源 (Source) 与 (Sink) 模式。
丰富功能： 内置电压比较器，数字I/O，支持触发扫描。
通讯接口： GPIB, RS-232, USB, LAN。
多功能测试软件：
配置输出通道、测量通道。
设置扫描模式 (电压、电流、光波长、功率、时间等)。
自定义步长、延迟时间、循环次数。
集中控制： 统一界面控制光源、源表 (SMU)、运动平台等所有设备。
应用领域
光电器件表征：
太阳能电池（IV, QE/IPCE, EL）、LED/激光器（LIV, 光谱, 近场）、光电探测器（响应度, 暗电流, 噪声）。
半导体材料分析：
光致发光光谱（PL）、电致发光光谱（EL）测试，用于材料能带结构、缺陷态、载流子动力学等研究。
微纳器件测试：
对MEMS、传感器、小型化光电器件进行精密的光电性能与可靠性测试。
工艺监控与质量控制：
在半导体和光电子器件生产线上进行快速、自动化的参数测试与分选